王守武，1919年出生，江蘇省蘇州市人，半導(dǎo)體器件物理學(xué)家、微電子學(xué)家，中國(guó)半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的開(kāi)拓者與奠基人之一。1980年當(dāng)選中國(guó)科學(xué)院學(xué)部委員（院士）。我國(guó)第一個(gè)半導(dǎo)體研究室、半導(dǎo)體器件工廠(chǎng)、半導(dǎo)體研究所和全國(guó)半導(dǎo)體測(cè)試中心的創(chuàng)建者。我國(guó)第一臺(tái)單晶爐的設(shè)計(jì)者、第一根鍺單晶和第一根硅單晶拉制、第一批鍺晶體管研制的組織領(lǐng)導(dǎo)者。主持研制成功我國(guó)第一臺(tái)砷化鎵半導(dǎo)體激光器；主持研制成功4千位、16千位的MOSRAM大規(guī)模集成電路。在研究與開(kāi)發(fā)中國(guó)半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體器件及大規(guī)模集成電路方面作出了重要貢獻(xiàn)。

■李艷平

作為我國(guó)半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)事業(yè)的重要開(kāi)拓者和奠基人之一，王守武對(duì)我國(guó)的半導(dǎo)體事業(yè)，特別是半導(dǎo)體器件物理和產(chǎn)品的研發(fā)和生產(chǎn)方面作出了重大的貢獻(xiàn)。幾十年的科研生涯中，王守武始終把國(guó)家的需要放在第一位，“國(guó)家需要什么我就做什么”。正是經(jīng)過(guò)王守武這樣幾代科學(xué)家的努力，中國(guó)半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)走出了一條自主創(chuàng)新的道路。

十余個(gè)寒暑中，王守武和研究人員一起克服了數(shù)不清的困難。1990年，半導(dǎo)體所迎來(lái)了建所30周年，人們終于在參加所慶活動(dòng)的王守武臉上看到了笑容。

科技世家的“笨小孩”

1919年，王守武出生于蘇州名門(mén)望族——東山莫釐王氏，王家也是中國(guó)近代罕見(jiàn)的科技世家。祖父王頌蔚是晚清著名歷史學(xué)家、文學(xué)家，他崇尚實(shí)學(xué)，希望士人“學(xué)習(xí)測(cè)量、化學(xué)、光學(xué)……”曾力薦科舉試卷不重程式的蔡元培為進(jìn)士。祖母謝長(zhǎng)達(dá)是著名的蘇州女權(quán)運(yùn)動(dòng)先驅(qū)，曾組織成立放足會(huì)，宣傳婦女解放、女子獨(dú)立，與人籌資創(chuàng)辦振華女校。

王守武的父輩個(gè)個(gè)學(xué)有所長(zhǎng)，幾乎都是中國(guó)近代科學(xué)初期的開(kāi)創(chuàng)性人物。伯父王季烈是清末民初物理教育家，翻譯編寫(xiě)了多部理科教材，是用“物理”來(lái)翻譯西文physics一詞的最早倡導(dǎo)者；叔叔王季點(diǎn)畢業(yè)于東京工業(yè)學(xué)院應(yīng)用化學(xué)科，熱心于“實(shí)業(yè)救國(guó)”，曾創(chuàng)辦火柴公司及北京玉泉釀酒公司等企業(yè)，自任董事長(zhǎng)，參與技術(shù)指導(dǎo)；叔叔王季緒是我國(guó)最早的機(jī)械工程專(zhuān)家之一，先后執(zhí)教于北京大學(xué)、北平工業(yè)學(xué)院等，曾任北洋大學(xué)工學(xué)院代理院長(zhǎng)；王守武的姑姑們也都接受過(guò)現(xiàn)代教育，她們或留學(xué)日本、美國(guó)，或考入清華大學(xué)等名校就讀。姑媽王季茝1918年在美國(guó)芝加哥大學(xué)獲得博士學(xué)位，是第一位華人女博士。

在家庭教育上，王守武受父親王季同的影響很大。父親王季同在機(jī)械工程和數(shù)學(xué)方面造詣很高，曾赴英國(guó)任清政府駐歐洲留學(xué)生監(jiān)督署隨員，到英吉利電器公司和德國(guó)西門(mén)子電機(jī)廠(chǎng)研究實(shí)習(xí)，是迄今所知中國(guó)學(xué)者最早在國(guó)際學(xué)術(shù)刊物上發(fā)表現(xiàn)代數(shù)學(xué)論文的人，曾參與中央研究院籌備工作，后任工程研究所專(zhuān)任研究員至退休。

王守武至今還記得父親當(dāng)年曾講述如何求圓周率π、自然對(duì)數(shù)及對(duì)數(shù)的底等問(wèn)題。王季同曾經(jīng)從舊貨攤上買(mǎi)來(lái)一臺(tái)舊的手搖計(jì)算機(jī)，他給孩子們演示怎樣用它來(lái)進(jìn)行計(jì)算，諸如怎樣把自然對(duì)數(shù)的底e算出來(lái)。王家子女大都天資聰穎早慧，當(dāng)王季同出智力測(cè)驗(yàn)題目，哥哥姐姐們常會(huì)爭(zhēng)先回答，而王守武從小體弱多病，不愛(ài)活動(dòng)，也不愛(ài)說(shuō)話(huà)，那時(shí)在哥哥姐姐眼中，他是個(gè)木訥的弟弟。實(shí)際上，數(shù)學(xué)的種子已深埋在這個(gè)“笨小孩”的心中，上中學(xué)時(shí)，王守武就完成了關(guān)于圓周率π的一篇數(shù)學(xué)論文。

王家備有各種機(jī)械加工工具和材料，孩子們?cè)谝黄鹋滂�匙、修理家庭用具、繞制變壓器、連接簡(jiǎn)易電路、制作電磁鐵等等。在這樣的家族氛圍中，王家子女后來(lái)也都大有成就。王守武的兄弟姐妹共12人，早逝5人，長(zhǎng)成7人。除王守武和王守覺(jué)這兩位中科院院士外，他們中有我國(guó)婦產(chǎn)科學(xué)奠基人之一、與林巧稚齊名、有“南王北林”之譽(yù)的留美醫(yī)學(xué)博士王淑貞；有1928年獲哥倫比亞大學(xué)哲學(xué)博士學(xué)位、中國(guó)第一位研究量子力學(xué)并卓有成就的學(xué)者王守競(jìng)；有我國(guó)著名的也是最早的女物理學(xué)家之一、清華大學(xué)第一位女教授王明貞……

艱辛求學(xué)的海歸“難民”

王守武4歲時(shí)，王家從蘇州遷往上海。王守武六年級(jí)時(shí)，在上海私立民智中小學(xué)讀書(shū)。校刊《民智》報(bào)會(huì)選登優(yōu)秀的學(xué)生習(xí)作短文。1930年《民智》第11期“男生專(zhuān)號(hào)”上刊登了王守武的短文《我們現(xiàn)在和將來(lái)的責(zé)任》。此時(shí)王守武年僅11歲，年紀(jì)雖尚幼小，但理想和抱負(fù)已十分明確。

1935年，王守武考入同濟(jì)大學(xué)預(yù)科，次年進(jìn)入工學(xué)院電工機(jī)械系學(xué)習(xí)。在同濟(jì)大學(xué)，王守武各門(mén)功課的學(xué)習(xí)都十分順利，成績(jī)優(yōu)異。1937年，日本帝國(guó)主義全面發(fā)動(dòng)侵華戰(zhàn)爭(zhēng)，戰(zhàn)火很快燒到上海，8月，日機(jī)接連轟炸吳淞地區(qū)，同濟(jì)大學(xué)的建筑均遭破壞。學(xué)校被迫從吳淞遷到上海公共租界，不久上海戰(zhàn)事日益激烈，此后學(xué)校幾度搬遷。由于故鄉(xiāng)蘇州淪陷，王守武一度與逃難中的父母失去聯(lián)系。因?yàn)椴恢�道何時(shí)才能和家里聯(lián)系上，他只能把手里的錢(qián)省著用，吃飯通常是在街邊人力車(chē)夫和底層老百姓吃飯的小攤上。1941年春，同濟(jì)大學(xué)已第六次遷校至四川宜賓的李莊鎮(zhèn)。在顛沛流離的遷校過(guò)程中，王守武結(jié)束了大學(xué)學(xué)習(xí)。

大學(xué)畢業(yè)后，王守武開(kāi)始在昆明的資源委員會(huì)中央機(jī)器廠(chǎng)任工務(wù)員，后與朋友創(chuàng)辦中國(guó)工合翻砂實(shí)驗(yàn)廠(chǎng)并任工務(wù)部主任，還曾在同濟(jì)大學(xué)任教。1944年，王守武考取自費(fèi)留學(xué)，次年10月，赴美國(guó)普渡大學(xué)攻讀工程力學(xué)。1946年獲得碩士學(xué)位后，王守武轉(zhuǎn)向物理學(xué)，用量子力學(xué)研究材料性質(zhì)，1949年2月獲得博士學(xué)位，并應(yīng)普渡大學(xué)工程力學(xué)系主任之聘任土木系助教。

獲博士學(xué)位前，1948年5月，王守武與同窗三載的葛修懷女士結(jié)為伉儷�；楹螅�中國(guó)留學(xué)生便常來(lái)王家相聚，當(dāng)時(shí)在普渡留學(xué)的鄧稼先便是王守武家的�？椭�一�？偛吭O(shè)在芝加哥的中國(guó)留美科學(xué)工作者協(xié)會(huì)在普渡設(shè)立了分會(huì)，鄧稼先是普渡分會(huì)的干事之一，王守武也因此參加了留美科協(xié)的活動(dòng)。

新中國(guó)成立后，王守武夫婦決心回國(guó)參加建設(shè)。當(dāng)時(shí)，印度駐美國(guó)外交機(jī)構(gòu)受新中國(guó)政府的委托代辦中美間的民間事宜。1950年，王守武一家通過(guò)印度大使館辦理了難民證，乘船經(jīng)香港回國(guó)。

半導(dǎo)體“國(guó)家隊(duì)”的領(lǐng)頭雁

王守武回國(guó)前并未聯(lián)系國(guó)內(nèi)的工作單位，“1950年回國(guó)的時(shí)候，我沒(méi)有什么打算，只是覺(jué)得國(guó)內(nèi)剛解放，想為國(guó)家搞點(diǎn)建設(shè)，作點(diǎn)貢獻(xiàn)。我原來(lái)是學(xué)工程力學(xué)的，又改學(xué)物理，我覺(jué)得回來(lái)搞建設(shè)，干什么都可以，什么都能干，所以我沒(méi)有跟國(guó)家聯(lián)系，直接回來(lái)了。”王守武回憶說(shuō)，“當(dāng)時(shí)只想為祖國(guó)作點(diǎn)貢獻(xiàn)，哪里需要就到哪里去。中科院讓我去，我就去了。”

回國(guó)初期，王守武在中科院應(yīng)用物理研究所工作，他先后完成了西藏地區(qū)生活用太陽(yáng)灶設(shè)計(jì)，志愿軍夜間行車(chē)防空襲車(chē)燈設(shè)計(jì)，還和同事一起安裝調(diào)試了中國(guó)第一臺(tái)電子顯微鏡，后組建了應(yīng)用物理所電學(xué)組。

王守武開(kāi)始接觸半導(dǎo)體是緣于一個(gè)偶然的機(jī)會(huì)。應(yīng)用物理所的一個(gè)儀表壞了，給他修理，拆開(kāi)后發(fā)現(xiàn)，里面的氧化亞銅整流器壞了。經(jīng)過(guò)查閱文獻(xiàn)，王守武搞清楚了氧化亞銅整流器的工作原理、氧化亞銅的實(shí)驗(yàn)室制備方法，隨后他不僅修好了儀器，還開(kāi)始嘗試自己動(dòng)手制作這種整流器。

上世紀(jì)50年代初，王守武領(lǐng)導(dǎo)應(yīng)用物理所電學(xué)組開(kāi)展半導(dǎo)體研究。他們從制作研究?jī)x器設(shè)備開(kāi)始，包括動(dòng)力設(shè)備、材料制作設(shè)備和分析檢測(cè)儀器。他們繞制了一個(gè)燒氧化銅的電爐，設(shè)計(jì)制作了電子管溫控器，對(duì)多種半導(dǎo)體材料和器件的一些基本性質(zhì)進(jìn)行了初步測(cè)量。同時(shí)王守武也在注視著國(guó)際上半導(dǎo)體科學(xué)的新發(fā)展。他很快意識(shí)到半導(dǎo)體研究的重要性，尤其晶體管發(fā)明帶來(lái)的信息技術(shù)變化。電學(xué)組在1956年的工作計(jì)劃中指出：“半導(dǎo)體放大器的進(jìn)一步發(fā)展將全面地革新電子學(xué)設(shè)備的面貌，在國(guó)民經(jīng)濟(jì)上的意義極為重大。”

1956年，在周總理主持下，我國(guó)制定《1956～1967年國(guó)家十二年科學(xué)技術(shù)發(fā)展遠(yuǎn)景規(guī)劃》，王守武是遠(yuǎn)景規(guī)劃中半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)發(fā)展規(guī)劃制定小組副組長(zhǎng)，組長(zhǎng)是應(yīng)用物理所所長(zhǎng)施汝為，另一位副組長(zhǎng)是北京大學(xué)教授黃昆。“十二年遠(yuǎn)景規(guī)劃”把發(fā)展我國(guó)的半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)列為四項(xiàng)緊急措施之一。得益于我國(guó)物理學(xué)家對(duì)半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的重要性的遠(yuǎn)見(jiàn)卓識(shí)和國(guó)家科學(xué)規(guī)劃的政策保障，我國(guó)的半導(dǎo)體事業(yè)快速建立，與當(dāng)時(shí)世界先進(jìn)水平的差距不大。

當(dāng)時(shí)北京大學(xué)接受了聯(lián)合五校（北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、東北人民大學(xué)、廈門(mén)大學(xué)和南京大學(xué)）師生, 共同培養(yǎng)半導(dǎo)體專(zhuān)業(yè)人才的任務(wù)。中科院應(yīng)用物理所電學(xué)組擴(kuò)建為半導(dǎo)體研究室，成為我國(guó)最早的半導(dǎo)體研究機(jī)構(gòu)。王守武任研究室主任，還兼任其半導(dǎo)體材料和物理大組組長(zhǎng)。應(yīng)用物理研究所的任務(wù)是組織全國(guó)有關(guān)科研院所及大專(zhuān)院校的科技人員（以中科院應(yīng)用物理所和二機(jī)部十三研究所為主體），集中到北京東皇城根應(yīng)用物理研究所, 進(jìn)行半導(dǎo)體設(shè)備、半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體測(cè)試的科研攻關(guān)。王守武和十三研究所的武爾楨是攻關(guān)總負(fù)責(zé)人,他從半導(dǎo)體物理、器件理論上全面指導(dǎo)并親自參加、指導(dǎo)具體實(shí)驗(yàn)工作, 如鍺單晶爐及單晶研制、物理測(cè)試, 器件物理分析等。

1956 年11月, 中國(guó)第一支鍺合金結(jié)晶體三極管在半導(dǎo)體研究室誕生，經(jīng)過(guò)測(cè)試，它具有了完整的PN結(jié)特性以及PNP 結(jié)型晶體三極管的標(biāo)準(zhǔn)放大特性。在研制過(guò)程中，王守武每天都去實(shí)驗(yàn)室，親自進(jìn)行實(shí)驗(yàn)結(jié)果分析。在制備做晶體管的小銦球（直徑只有幾十至幾百微米）時(shí)，面對(duì)研究人員最初制出的銦“面條”，王守武給了很好的建議。幾天后，小銦球成功誕生。我國(guó)第一支晶體管研制成功產(chǎn)生了很大反響，時(shí)任中國(guó)科學(xué)院院長(zhǎng)郭沫若視察這一成果時(shí)，連連稱(chēng)贊這是了不起的成就。《人民日?qǐng)?bào)》隨后在第一版刊登了這則消息。

1956年到1960年，半導(dǎo)體研究室在半導(dǎo)體器件的研制方面取得一系列成果：研制成功我國(guó)第一根鍺單晶、研制成功合金結(jié)鍺晶體管和金鍵二極管、拉制成功摻雜的鍺單晶并完成我國(guó)鍺單晶的實(shí)用化、拉制成功我國(guó)第一根硅單晶并實(shí)現(xiàn)我國(guó)硅單晶的實(shí)用化、成功研制我國(guó)第一支鍺合金擴(kuò)散高頻晶體管、參與研制成功我國(guó)第一臺(tái)大型晶體管計(jì)算機(jī)。原中國(guó)科學(xué)院黨組書(shū)記、副院長(zhǎng)張勁夫在幾十年后回憶由他負(fù)責(zé)組織的中國(guó)科學(xué)院參與“兩彈一星”的工作和貢獻(xiàn)，其中他談到了半導(dǎo)體所的貢獻(xiàn)：“從美國(guó)回來(lái)搞半導(dǎo)體材料的林蘭英和科學(xué)家王守武、工程師王守覺(jué)兩兄弟，是他們做的工作。第二代計(jì)算機(jī)，每秒數(shù)十萬(wàn)次，為氫彈的研制作了貢獻(xiàn)。”

1960年，中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所正式成立，王守武任業(yè)務(wù)副所長(zhǎng)。是年，世界第一臺(tái)激光器誕生，兩年后，美國(guó)和前蘇聯(lián)相繼研制成功半導(dǎo)體激光器。得知這一消息后，王守武看準(zhǔn)這是一個(gè)重大的研究方向，開(kāi)始組織半導(dǎo)體所進(jìn)行探索。自1963年起，他先后領(lǐng)導(dǎo)并參與了中國(guó)第一臺(tái)半導(dǎo)體激光器的研制、實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體激光器的連續(xù)激射、半導(dǎo)體負(fù)阻激光器以及激光應(yīng)用的研究工作，為我國(guó)在這個(gè)技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步奠定了基礎(chǔ)。

1966年“文化大革命”開(kāi)始后，半導(dǎo)體研究所幾乎所有的科研工作都停了下來(lái)。王守武離開(kāi)了領(lǐng)導(dǎo)和科研崗位。1969年恢復(fù)科研工作后，王守武曾在實(shí)驗(yàn)室修理儀器。為了解決激光器研究室缺少分析激光特性手段的問(wèn)題，王守武主動(dòng)提出設(shè)計(jì)和研制激光發(fā)散角分布測(cè)試儀，獲得成功。

1974年7月，中國(guó)科學(xué)院頒布《關(guān)于制定我院十年規(guī)劃工作的安排意見(jiàn)（草案）》。在這一背景下，王守武組織領(lǐng)導(dǎo)開(kāi)展了疇雪崩現(xiàn)象研究，這一理論研究成果引起了國(guó)際學(xué)術(shù)界的關(guān)注。1974年，通過(guò)美中學(xué)術(shù)交流委員會(huì)和中國(guó)科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)的協(xié)商，中美決定派固體物理學(xué)代表團(tuán)進(jìn)行互訪(fǎng)。1975年3月到4月，由王守武為團(tuán)長(zhǎng)，盧嘉錫為副團(tuán)長(zhǎng)的中國(guó)固體物理考察團(tuán)訪(fǎng)問(wèn)美國(guó)，考察期間，王守武在美國(guó)物理學(xué)會(huì)年會(huì)大會(huì)上報(bào)告了耿氏器件疇雪崩現(xiàn)象的研究成果，引起與會(huì)學(xué)者的關(guān)注。1975年9月，美國(guó)固體物理代表團(tuán)回訪(fǎng)中國(guó)，訪(fǎng)問(wèn)半導(dǎo)體所時(shí)，疇雪崩現(xiàn)象研究是他們的重點(diǎn)參觀(guān)項(xiàng)目之一。

猛攻集成電路成品率

集成電路是一種電子器件，通常所說(shuō)的“芯片”就是指集成電路，它是將一個(gè)電路所需的晶體管、二極管、電阻、電容等做在一個(gè)面積很小的半導(dǎo)體硅片上。1964年，半導(dǎo)體所研制成功中國(guó)最早的集成電路，但到上世紀(jì)70年代，我國(guó)集成電路的研制和生產(chǎn)與國(guó)際先進(jìn)水平有了很大差距。

1977年7月，鄧小平邀請(qǐng)30位科技界代表在人民大會(huì)堂召開(kāi)科教工作者座談會(huì)，王守武發(fā)言說(shuō)：“全國(guó)共有600多家半導(dǎo)體生產(chǎn)工廠(chǎng)，其一年生產(chǎn)的集成電路總量，只等于日本一家2000人的工廠(chǎng)月產(chǎn)量的十分之一。這種分散而低效率的生產(chǎn)方式應(yīng)該盡快改變。”他建議：“一是抓住要害，解決提高大規(guī)模集成電路成品率的問(wèn)題。二是集中力量，把幾百家工廠(chǎng)的人力物力集中使用到兩三家重點(diǎn)廠(chǎng)上去，使重點(diǎn)廠(chǎng)的設(shè)備條件能夠趕上國(guó)際水平。”

是年10月，在全國(guó)自然科學(xué)學(xué)科規(guī)劃會(huì)議上，鄧小平對(duì)半導(dǎo)體研究所的與會(huì)代表說(shuō)：“你們一定要把大規(guī)模集成電路搞上去，一年行嗎？”

國(guó)際上的大規(guī)模集成電路在1969年開(kāi)始批量生產(chǎn)，1977年集成度每片16千位的大規(guī)模集成電路已投入工業(yè)生產(chǎn)，每片64千位的超大規(guī)模集成電路已做出樣品。當(dāng)時(shí)我國(guó)卻只有少數(shù)單位仿照國(guó)外產(chǎn)品做出了每片近千位的大規(guī)模集成電路樣品，但成品率極低，不能投入生產(chǎn)。同時(shí)，國(guó)外各種不同結(jié)構(gòu)的新電路不斷出現(xiàn)，而我國(guó)獨(dú)創(chuàng)性的新電路、新結(jié)構(gòu)的研究工作尚屬空白。

中科院提出，要在一年內(nèi)拿下每片4千位的三個(gè)大規(guī)模集成電路典型品種和獨(dú)立設(shè)計(jì)的新型電路，做出樣品并進(jìn)入批量生產(chǎn)。此后，經(jīng)過(guò)大約一年的研究，雖然半導(dǎo)體所超凈線(xiàn)的工作人員夜以繼日地奮戰(zhàn)，但4千位大規(guī)模集成電路成品率仍然很低。

1978年10月，王守武被請(qǐng)到中國(guó)科學(xué)院主要領(lǐng)導(dǎo)同志的辦公室，要他全面負(fù)責(zé)這一任務(wù)。

王守武上任后堅(jiān)持“做有用的東西”，他認(rèn)為搞一種新產(chǎn)品，只出樣品、禮品、展品，沒(méi)有一定的成品率，不能真正解決國(guó)家的急需，只有在國(guó)產(chǎn)設(shè)備的基礎(chǔ)上提高成品率，才有推廣生產(chǎn)的現(xiàn)實(shí)意義。他重新組織人員，調(diào)來(lái)了包括吳德馨在內(nèi)的一批技術(shù)骨干，著手分析成品率低的原因。提高成品率，首先要提高硅材料制備工藝水平；其次，要保證生產(chǎn)設(shè)備質(zhì)量穩(wěn)定；同時(shí)還要提高基礎(chǔ)材料和試劑的純度指標(biāo)。

王守武從穩(wěn)定工藝入手，將整個(gè)工藝流程分為四十多道工序，提出每道工序的完好率不低于95%，一道工序合格了，才可以進(jìn)行下一道工序。他先花了幾個(gè)月時(shí)間組織研究人員逐一改進(jìn)、穩(wěn)定設(shè)備；然后對(duì)使用的原材料和試劑進(jìn)行分析提純，以達(dá)到可使用的指標(biāo)；最后，建立了一套操作規(guī)程和管理制度，并要求嚴(yán)格執(zhí)行。

經(jīng)過(guò)王守武和研究人員的努力，到1979年9月，他們做出的三種版圖的大規(guī)模集成電路樣品的成品率都提高到了20%以上，達(dá)到了預(yù)定目標(biāo)。該項(xiàng)研究為解決我國(guó)大規(guī)模集成電路管芯成品率問(wèn)題提供了寶貴的經(jīng)驗(yàn)，于1980年獲得中國(guó)科學(xué)院科技成果獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)。半導(dǎo)體所后來(lái)將這項(xiàng)技術(shù)成果轉(zhuǎn)讓到上海無(wú)線(xiàn)電元件五廠(chǎng)，用于生產(chǎn)�！度嗣袢�?qǐng)?bào)》在報(bào)道中說(shuō)：“在王守武同志嚴(yán)謹(jǐn)?shù)目茖W(xué)作風(fēng)帶動(dòng)下，超凈線(xiàn)里的風(fēng)氣煥然一新，科研人員各守其職，嚴(yán)格把關(guān)，工人認(rèn)真操作，一絲不茍，使研制工作取得了可喜的進(jìn)展。”

成功研制4千位大規(guī)模集成電路后，1981年王守武負(fù)責(zé)研制成功16千位N溝MOS動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器，次年獲得了中國(guó)科學(xué)院科研成果獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)。

1980 年春，王守武兼任中科院109廠(chǎng)廠(chǎng)長(zhǎng)，開(kāi)展提高成品率、降低成本的集成電路大生產(chǎn)試驗(yàn)。1986年，王守武領(lǐng)導(dǎo)109廠(chǎng)完成的“集成電路大生產(chǎn)試驗(yàn)”獲得國(guó)家計(jì)委科技攻關(guān)成績(jī)顯著表彰，及中國(guó)科學(xué)院“六五”科技攻關(guān)重大成果獎(jiǎng)。1986年1月，在王守武的倡議下，上級(jí)將半導(dǎo)體所從事大規(guī)模集成電路研究的全套人馬，合并到109廠(chǎng)，組建了中國(guó)科學(xué)院微電子中心，王守武任微電子中心終身名譽(yù)主任。

從提高大規(guī)模集成電路成品率，到完成“集成電路大生產(chǎn)試驗(yàn)”，從大規(guī)模集成電路實(shí)驗(yàn)室制備工藝探索，到工業(yè)生產(chǎn)中試線(xiàn)的安裝、調(diào)試和生產(chǎn)，在這十余個(gè)寒暑中，王守武和研究人員一起克服了數(shù)不清的困難。這項(xiàng)歷時(shí)十年的研究工作全面完成之時(shí)，1990年，半導(dǎo)體所迎來(lái)了建所30周年，人們終于在參加所慶活動(dòng)的王守武臉上看到了笑容。

王守武是一位具有戰(zhàn)略眼光的科學(xué)家。多年來(lái)，他對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)發(fā)展方向、政策和策略的確定有過(guò)很多卓見(jiàn)。1987年，他因“世界新技術(shù)革命和我國(guó)的對(duì)策”獲國(guó)家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)；上世紀(jì)80年代，他闡述了發(fā)展我國(guó)集成電路工業(yè)上如何處理好科研與生產(chǎn)的關(guān)系，做好把科研成果轉(zhuǎn)變?yōu)樯�產(chǎn)產(chǎn)品的中間環(huán)節(jié)；上世紀(jì)90年代，他提出，在制訂我國(guó)微電子行業(yè)規(guī)劃時(shí)，要狠抓微電子所用的基礎(chǔ)材料和專(zhuān)用設(shè)備兩個(gè)方面的基礎(chǔ)，重視科技隊(duì)伍的培養(yǎng)；2000年，他建議，發(fā)展半導(dǎo)體工業(yè)要開(kāi)拓市場(chǎng)，可以考慮用通信電路作為我國(guó)發(fā)展半導(dǎo)體工業(yè)的突破口，集中力量，發(fā)展我國(guó)獨(dú)特的系列產(chǎn)品，力爭(zhēng)在國(guó)際上占有一席之地；2006年，王守武呼吁，科研成果轉(zhuǎn)化要打破科研院所與產(chǎn)業(yè)部門(mén)之間的“條條塊塊”。（作者系首都師范大學(xué)物理系教授）

▲1979年，王守武與研究人員在超凈線(xiàn)工作

▲1949年，王守武、葛修懷夫婦在美國(guó)普渡大學(xué)

我們現(xiàn)在和將來(lái)的責(zé)任

■王守武

喂，諸位朋友，你可知道我們中國(guó)多么危險(xiǎn)呀。正像一根沒(méi)有再細(xì)的頭發(fā)吊著,飄搖在那漫無(wú)邊際的天空，還要被那風(fēng)吹雨打。你想危險(xiǎn)不危險(xiǎn)呢。

要使我們的中國(guó)轉(zhuǎn)危為安，轉(zhuǎn)弱為強(qiáng)，除了幾個(gè)先知先覺(jué)的父老以外，便是我們學(xué)生應(yīng)負(fù)責(zé)任。

換一句話(huà)說(shuō)，隔了幾年或是十幾年，我們學(xué)生便應(yīng)該負(fù)這重大的責(zé)任，便應(yīng)該盡這重大的責(zé)任。那么隔了幾年，我們就有負(fù)擔(dān)的可能嗎？我們就有能力去盡責(zé)任嗎？那不容說(shuō)一定是不能不能……

所以現(xiàn)今的我們，應(yīng)當(dāng)努力讀書(shū)，切實(shí)地去求學(xué)問(wèn)，去求那真實(shí)的學(xué)問(wèn)，去求那高深的學(xué)問(wèn)。實(shí)學(xué)得到了，才能救我們的中國(guó)，救危險(xiǎn)的中國(guó)。

諸位朋友，你們要救中國(guó)。你們要做中國(guó)的人。一定要大家盡責(zé)，大家負(fù)責(zé)。愿大家努力讀書(shū)，努力前進(jìn)。還愿將來(lái)努力救國(guó)，努力富國(guó)，努力強(qiáng)國(guó)。

（此文系作者小學(xué)六年級(jí)時(shí)所作，原載《民智》，1930年第11期號(hào)）